由于無塵車間要保持相應級別的潔凈度，所用建造材料都應滿足一定的要求。無塵車間地面，要求平整、耐磨、易清洗、防靜電、不嚴重反光、美觀耐用。無塵車間地面材料的選用尤其關鍵，具體使用哪種材料，應結合無塵車間建設方的預算來確定。

首先，要選擇符合自身需求的無塵車間地面材料。常見的無塵車間地面，分為涂布型地面、粘貼性地面、水磨石地面、金屬隔柵通風地面等。涂布型無塵車間地面，按照材料的不同，又分為聚氨酯涂料、環氧樹脂和聚酯樹脂砂漿。這種無塵車間地面，附著力強，易施工，彈性好，耐水、耐腐蝕。

水磨石無塵車間地面，施工質量會失控。金屬隔珊通風地面，用于垂直單項流無塵車間作為回風隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無塵車間。

另外對于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設靜電接地網來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網來達到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。