要在潔凈室中使用的設(shè)備，在可能時應(yīng)該在潔凈條件下制造，其包裝程序也應(yīng)該應(yīng)潔凈室內(nèi)的要求。把設(shè)備送入潔凈室的過程不應(yīng)增加對環(huán)境的污染。進入“空態(tài)”或“靜態(tài)”潔凈室的設(shè)備應(yīng)該正確地拆包、清潔，否則以后要做大量的潔凈工作。特別應(yīng)該注意的是設(shè)備進入“動態(tài)”潔凈室前應(yīng)該考慮的問題。這不僅會使?jié)崈羰姨幱谖廴镜娘L(fēng)險中，還會危及工藝過程中的產(chǎn)品，同樣要求大量的潔凈工作，而且還要按ISO14644-2重新認(rèn)證潔凈室。應(yīng)該制定適當(dāng)?shù)牟呗裕苊獬霈F(xiàn)上述問題。

安裝設(shè)備的有效方法是把設(shè)備與潔凈室環(huán)境的其余部分隔離開，用臨時的隔離墻或隔斷設(shè)備周圍，設(shè)備周圍留出足夠的空間，保證不妨礙設(shè)備的安裝。

1）如果可能就通過服務(wù)通道或其它非關(guān)鍵區(qū)進入隔離區(qū)。如果不可能，應(yīng)采取措施盡量減少由結(jié)構(gòu)造成的污染。流向該隔離區(qū)的氣流應(yīng)該保持中性壓力或負(fù)壓，避免氣流強制流出工作區(qū)帶來污染的可能性。

2）完全密封的隔離區(qū)不應(yīng)從內(nèi)部加壓，否則污染可能會穿透屏障，影響周圍的潔凈室。隔離區(qū)內(nèi)應(yīng)該阻斷潔凈空氣的送風(fēng)，避免給周圍的潔凈室造成壓力。 如果只有通過相鄰的潔凈室才能進入隔離區(qū)，應(yīng)該采用粘性墊，除掉鞋子上帶的污染。進入隔離區(qū)后，可能要求用一次性靴子或鞋套來避免污染潔凈服。離開隔離區(qū)前要把這些一次性物品脫下。

3）應(yīng)該制定監(jiān)控隔離區(qū)周圍區(qū)域的方法和頻率，確保能檢測出任何滲漏進相鄰潔凈室內(nèi)的污染。

4）然后，架設(shè)各種動力設(shè)施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣何廢水管道。應(yīng)該注意對這些作業(yè)產(chǎn)生的煙氣和殘物盡可能全部加以控制和包納，避免由于疏忽而弄到周圍的潔凈室內(nèi)，這也有助于拆除隔離屏障前能有效的清潔。

5）然后應(yīng)該采用認(rèn)可的潔凈程序清除整修隔離區(qū)的污染。所有表面都要真空清潔、擦拭和清理，包括所有的墻、固定的和便捷式的設(shè)備及地面。

6）要特別注意設(shè)備護板后面和設(shè)備下面區(qū)域的清潔。

7）現(xiàn)在可以作一些內(nèi)部的準(zhǔn)備工作和設(shè)備性能的初步測試，但最后驗收的測試要求完全具備潔凈室條件才行。

8）現(xiàn)在可以小心地拆除隔離墻，經(jīng)過過濾的空氣可以接入送風(fēng)。進行這一步的時間應(yīng)該仔細(xì)地選定，盡量減少對潔凈室內(nèi)正常工作的干擾。還可要求作粒子測量或測試。

9）設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵的加工小室應(yīng)該在正常的潔凈室條件下進行清潔和投入使用的準(zhǔn)備工作。

10）對所有適當(dāng)?shù)膬?nèi)腔室和所有與產(chǎn)品接觸或涉及產(chǎn)品傳遞的表面都要進行擦拭，達到要求的潔凈度級別。設(shè)備的清潔程序應(yīng)該是從頂?shù)降祝驗槿绻辛Ｗ由⒉迹^大的粒子會因重力而落到設(shè)備的底部或地面上。

11）清潔設(shè)備外部，順序也是從頂?shù)降住?/p>

12）必要時，應(yīng)該檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵的區(qū)域的表面粒子情況。